年度	2013
全部作者	Jen‐Ching Huang, Yung‐Jin Weng, Huail‐Siang Liu,Feng chin Tsai and Fu-Jen Cheng
论文名称	The Study on the Ultrasound Assisted Atomic force microscopy Base Nanomachining
会议名称	AMPT 2013
地点	台湾Taiwan - Taipei Taiwan
着作人数	4