年度	2014
全部作者	Jen-Ching Huang and F.J. Cheng
论文名称	The Study of Nanolithography Processing on the Photoresistor Thin Film by Atomic Force Microscopy
期刊名称	Advanced Materials Research
卷数	997
期数	0
论文类型	EI
发表日期	2014-07-01
档案	AMR.997.379.pdf